背景描述

近年来半导体行业迅猛发展，电子特种气体的用量大幅增加。这些气体一旦泄漏或排放，将对芯片良品率、人体健康及环境安全（温室气体）带来严重危害。因此，构建一套高效、灵敏的检测体系显得尤为迫切。电子特气的检测检测有以下难点：一是气体种类繁杂且特性各异，半导体生产涉及数十种甚至上百种电子特气，涵盖腐蚀性、可燃性、有毒性等不同类型，每种气体的检测原理与方法存在显著差异，大幅提升了检测体系的设计复杂度；二是检测精度要求严苛，芯片制造对气体纯度的标准已达ppb甚至ppt级别，传统检测手段难以满足如此高精度的监测需求；三是测量气体复杂含水量高，影响气体检测。因此，建立一套覆盖全流程、多参数、高精度的气体测试应用解决方案成为半导体行业发展的关键支撑。

解决方案

针对上述检测难点，乐氏科技推出一套便携式傅里叶气体分析仪（增强型）快速检测与大气预浓缩浓缩系统结合GC-MS精确检测的解决方案。该方案采用高分辨率（1cm-1）傅里叶变换红外光谱技术，可对多组分气体的快速定性定量筛查，覆盖腐蚀性、可燃性、有毒性等各类气体，有效解决气体含水量大、气体种类繁杂及交叉干扰的检测难题。同时，其便携设计支持生产线各环节的现场实时监测，满足生产线废气处理装置（Local Scrubber）及排放口的即时检测需求，检出限≤ppm级。

在生产环境中低浓度电子特气的检测方面，采用大气预浓缩技术与GC-MS系统相结合的方法，大气预浓缩技术可实现气体的有效浓缩富集（＞1000倍），GC-MS对浓缩后的目标成分进行分离与定量测定。该技术能够对复杂混合气体中的各种电子特气进行精确测量，检测下限达到ppt量级，方案满足芯片制造领域对环境气体检测浓度的要求。

以上两种仪器的方法符合标准《GB/T 46384.1-2025电子气体中酸度的测定 第1部分：傅里叶变换红外光谱法》和《HJ1392-2024环境空气和废气 三氟甲烷、四氟甲烷、六氟乙烷和六氟化硫的测定 气相色谱-质谱》的要求。

整套方案可实现从现场快速测定到实验室精确分析的全流程覆盖，既满足生产线实时监测的动态需求，又能提供高精度的定量数据，为半导体企业的气体质量控制、泄漏监测及环保合规提供多方位的技术支撑。

方案特点

该方案决解决了电子特气在处理过程中废气浓度的快速检测以及环境空气中痕量特气浓度检测的难题。与原有半导体工厂的在线监测系统结合，具有测量机动性强、准确度高等特点。

l 便携式傅里叶气体分析仪多组分响应时间短。可同时对半导体生产中常见的多种电子特气（涵盖腐蚀性、可燃性、有毒性等类型）进行快速定性识别，能满足生产线动态监测的即时性要求；

l 大气预浓缩浓缩系统结合GC-MS，检测精度与灵敏度突出，检测限可达ppt级别。通过大气预浓缩技术将痕量气体富集，结合GC-MS的高选择性分析，适配半导体行业对气体纯度的严苛要求；

l 抗干扰性优异，有效避免水分和多种气体间的相互干扰。傅里叶红外气体分析仪采用高温采样，原态分析，有效去除气体中的水分干扰，确保检测数据的准确性与稳定性，避免复杂工况下的测量误差；

l 方法符合国家标准，确保检测结果具备合规性。方案中采用的傅里叶变换红外光谱法符合《GB/T 46384.1-2025电子气体中酸度的测定 第1部分：傅里叶变换红外光谱法》，GC-MS联用技术符合《HJ1392-2024环境空气和废气 三氟甲烷、四氟甲烷、六氟乙烷和六氟化硫的测定 气相色谱-质谱》，能够满足半导体企业在气体质量管控、环保合规申报等场景下的严格要求，为企业的生产运营与监管应对提供可靠依据。

推荐设备

9100FIR便携式傅里叶红外分析仪（增强型）、Ontech 大气预浓缩系列